1.灯管功率：300W     

2.灯管寿命：≥8000h

3.灯管光谱：185nm+254nm

4.清洗工作面积：≤8寸     

5.持续清洗时间：99.99h

6.照射高度：31~44mm(通过顶针改变高度，未包含基片本体厚度)

7.风扇调速：5级调速

8.电源输入：200-230V,单相，800W(220V型)

9.保险丝:5A,2A(已安装)     

10.加热功率：500W

11.温度范围：室温~200℃     

12.200℃加热时间：30-35min

13.顶升高度范围：0-13mm

14.顶升最小基片尺寸：方片50*50mm,圆片50mm

15.最大基片厚度：10mm(可定制)

16.重量：25kg

17.外型尺寸：490mm(W)*370mm(D)*310mm(H)