供电电源：AC220V

射频电源功率：0-500W 可调

射频频率：25KHz

真空度：≤100Pa

气体路数：双路

气体流量：20—200ml/min(可调)

清洗时间：0—99 分 59 秒连续可调

内腔尺寸：156mm*156mm*165mm

外形尺寸：452mm*340mm*225mm

重量：≈20KG